ALN顆粒

窒化アルミ顆粒は窒化アルミ粉末からスプレー造粒され、粘着剤及び焼結助剤を含み、直接プレス成形できる。厦門科技钜瓷の窒化アルミ顆粒は良好な流動性、優れた焼結性、および高純度、高強度の特徴を持って、窒化アルミヒータ/静電吸盤/エッチング保護カバー/ホットプレス窒化アルミセラミックスなどの各種半導体デバイス部品を作製するために用いられる。

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製品の特徴

高純度

High Purity

直接プレス成形可能

Ready for press

高強度

High strength

優れた焼結性

High sintering activity

高い流動性

High fluidity

技术参数

项目Item		GS-80
平均粒径 Mean particle size (μm)		70~120
Y2O3 (WT%)		5
松装密度 Bulk density (g/cm3)		0.8~1.0
流动性 Fluidity (s/50g)		80~100
杂质含量 Impurity	Ca (ppm)	＜500
	Si (ppm)	<100
	Fe (ppm)	<30

成形工艺

脱脂工艺

200℃前3℃/ min ，400℃前2℃/ min，500℃前5℃/ min ，保温2小时。

烧结温度1830~1900℃，保温时间3~5 hrs,流动氮气，0.1MPa

产品应用

压制陶瓷原料：加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷